Moem Resonator of Fiber Reflection Interferometer

Abstract

Прикладная фотоника Т. 6, № 1-2 59 УДК 535.41 В.С. Терентьев, В.В. Коняшкин, В.А. Симонов, Э.Г. Косцов Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия МОЭМ-РЕЗОНАТОР ВОЛОКОННОГО ОТРАЖАТЕЛЬНОГО ИНТЕРФЕРОМЕТРАЦель работы состоит в разработке конструкции и технологии перестраиваемого резонатора волоконного ОИ на основе микрооптоэлектромеханической (МОЭМ) структуры. Описана схема нового варианта волоконного отражательного интерферометра (ОИ) с резонатором на основе МОЭМ-зеркала. Проведено моделирование основных электромеханических характеристик упругой балки, используемой в качестве заднего зеркала резонатора. Преимущество рассматриваемой схемы ОИ заключается в существенном упрощении технологии изготовления резонатора по сравнению с МОЭМ-интерферометром Фабри-Перо, так как одно из зеркал может быть непрозрачным и выполняться в виде металлической балки. Представленные экспериментальные исследования показывают, что на основе МОЭМ-элементов возможно достижение высоких частот перестройки резонансной длины волны резонатора во всем диапазоне области свободной дисперсии.Ключевые слова: волоконный отражательный интерферометр, микрооптоэлектромеханическая структура.The aim of the paper is to design the tunable cavity for fiber Reflection Interferometer (RI) based on Micro-Opto-Electro-Mechanical Structure (MEMS). The scheme of novel fiber RI with cavity based on MOEMS-mirror is described. The main electromechanical properties of the elastic beam, which is used as back mirror if the RI, are calculated. The advantage of the proposed RI design over the MOEMS Fabry-Perot interferometers is in the significant simplification of the cavity production technique, because the back mirror can be non-transparent and made of metal beam. The experimental investigations show, that MOEMS elements suit for obtaining high frequency of resonance wavelength tuning over the free spectrum range.