NAC Measurement Technique on High Parallelism Probe Card with Protection Resistors

Abstract

Abstract-In this paper, a novel time-domain measurement technique on a high parallelism probe card with protection resistors installed is proposed. The measured signal amplitude decreases when the measurement is performed by Needle Auto Calibration (NAC) probing on a high parallelism probe card with installed resistors. Therefore, the original signals must be carefully reconstructed, and the compensation coefficient, which is related to the number of channel branches and the value of protection resistors, must be introduced. The accuracy of the reconstructed signals is analyzed based on the varying number of channel branches and various protection resistances. The results demonstrate that the proposed technique is appropriate for evaluating the overall signal performance of probe cards with Automatic Test Equipment (ATE), which enhances the efficiency of probe card performance test dramatically.

Protection Resistor Optimization for Enhancement of Signal Integrity on High-Parallelism Probe Card

“…이러한 문제점을 해결하 기 위하여 보호저항(protection resistor)이 DUT 앞단에 도 입되며, 이렇게 함으로써 단락된 선로와 같은 가지에 있 는 다른 선로에 미치는 영향을 최소화할 수 있게 된다. 그 러나 보호저항이 삽입될 시 전송된 신호 진폭이 감쇠되 는 문제점이 존재하며, 이를 보상계수를 통하여 신호의 진폭을 보상하여 증가시키는 방법이 연구되었다 [4] . 그러 나 별도의 과정을 거쳐 감쇠특성을 파악하여 그에 따른 보상계수값을 선정해야 하기 때문에 비효율적이다.…”

“…(2) [4] . 그림 (단, 단락 결함 3개일 때는 선행 연구의 보호저항 최적값 이 같아 가능 영역 외 임의의 값으로 350 Ω을 선정함) 아이 다이어그램의 면적을 식 (4)를 이용하여 구하여 비 교하였다 [8] .…”