Numerical Analysis of the Kinetics of Chemical Reactions in an Argon-Silane Plasma of the Glow Discharge

Abstract

Путем численного решения уравнений диффузии для нейтральных компонентов с учетом протекания химических реакций в газовой фазе проведено моделирование состава аргон-силановой плазмы тлеющего разряда. Анализируется вклад наиболее значимых химических реакций в кинетику образования и гибели различных компонентов плазмы. Исследуется кинетика реагентов в зависимости от времени пребывания рабочего газа в разрядной зоне. Обсуждается вопрос о количестве компонентов, включаемых в модель. Показано, что для интервалов времени t ≤ 10 −2 с компоненты Si n H x (n ≥ 3) не существенны для моделирования химической кинетики пленкообразующих радикалов.Ключевые слова: силановая плазма, процессы переноса в химически активной плазме, аморфный кремний.1 Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ в рамках научного проекта №16-42-550936 р_а.