Анотація. В даній роботі були сформовані резонансно-тунельні структури на основі нано-композитних плівок SiO 2 (Si), що містять Si нанокристали в діелектричній матриці методами хімічного осадження при низькому тиску (LP CVD -low pressure chemical vapor deposition) та методу іонно-плазмового розпилення (IPS). Кремнієві нанорозмірні структури формувались як на плоскій поверхні, так і на кремнієвих вістрях. Формування кремнієвих наноострівців зі зба-гачених кремнієм плівок SiO x відбувалось в процесі відпалу при температурах 1000 0 С, 1050 0 С та 1100 0 С. Проведено аналіз структури поверхні вихідної та відпаленої плівок SiOx, отриманих методом IPS, за допомогою атомно-силової мікроскопії (АСМ). Досліджувався вплив відпалу на розміри нанокристалів для зразків з різною концентрацією надлишкового кремнію у вихідній плівці. Виявлений ефект немонотонної електронно-польової емісії (ЕПЕ) з поверхні плівок SiO 2 (Si) сформованої методом LP CVD.Ключові слова: хімічне осадження при низькому тиску, іонно-плазмове розпилення, плівки SiO x , нанокристали кремнію, резонансно-тунельні структури, польова емісія. Abstract. In this work resonance-tunnel structure based on nano-composite films SiO 2 (Si),which contain Si nanocrystals in a dielectric matrix have been formed by method of chemical deposition at low pressure (LP CVD -low pressure chemical vapor deposition) and ion plasma sputtering (IPS). Silicon nanosize structures were formed as on a flat surface and on the silicon tip. The formation of silicon nanoislands from silicon enriched SiO x films were performed during annealing at temperatures of 1000 0 C, 1100°C and 1050 0 C. AFM topography image of the original SiOx and annealing films,
FORMATION OF SILICIM MICRO-AND NANOSTRUCTURES FOR ELECTRON