Аннотация-Для математического моделирования явлений тепломассопереноса, обусловленных взаимодействием заряженных частиц или электромагнитного излучения с поверхностью многослойной полупроводниковой мишени, разработан матричный метод, который используется совместно с методом обобщенных степеней Берса. Разработанный метод является аналитическим и позволяет получать решение задач тепломассопереноса для произвольного количества слоёв как в случае однородной, так и неоднородной среды внутри каждого слоя. Также рассматривается возможность использования метода в качестве численного для решения неоднородных уравнений тепломассопереноса. Ключевые слова-математическое моделирование, заряженные частицы, электромагнитное излучение, полупроводник, явления тепломассопереноса, матричный метод, обобщённые степени Берса.