Optische Vermessung mit Wellenfrontsensoren

Abstract

Schlagwörter: Oberflächenanalyse, Wellenfrontrekonstruktion, Shack-Hartmann-Sensor, Aberration, Laserstrahl Die Vermessung von optischen Komponenten mittels Wellenfrontsensoren wird vorgestellt. Es werden Aufbau und Arbeitsweise eines Wellenfrontsensors nach dem Shack-Hartmann-Prinzip beschrieben und mechanische Einflüsse auf die Meßgenauigkeit diskutiert, ebenso Methoden zur Kalibrierung des Sensors. Entsprechende Meßaufbauten für die Oberflächenprüfung und die Vermessung von Optiken werden mit ihren Vorund Nachteilen angegeben. Schließlich wird die Vermessung von Laserstrahlen mit einem Shack-HartmannSensor skizziert. Optical testing using wave front sensorsTesting of optical components using wave front sensors is presented. Realisation and working principle of a Shack-Hartmann wave front sensor is described and mechanical influence on accuracy is discussed as well as methods for calibration. Possible arrangements for measurement of surface quality and imaging properties of optical devices is discussed. Finally, the characterisation of laser beams with a wave front sensor is presented.