1992
DOI: 10.1016/0022-0248(92)90382-s
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Optoelectronic devices by gas source molecular beam epitaxy

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
1

Citation Types

0
1
0
1

Year Published

1995
1995
2009
2009

Publication Types

Select...
4
2

Relationship

0
6

Authors

Journals

citations
Cited by 7 publications
(2 citation statements)
references
References 9 publications
0
1
0
1
Order By: Relevance
“…In a carefully designed MBE system control of doping concentration and layer thickness with uniformity of ±1% over a 2-inch diameter wafer can be achieved [69]. Layers of thickness less than 100Å can be controllably produced by MBE, permitting one to fabricate multilayered superlattices for use in quantum well devices [70]. This topic is discussed more thoroughly in Chapter 18.…”
Section: Fig 413 a Schematic Of An Mbe Growth Systemmentioning
confidence: 99%
“…In a carefully designed MBE system control of doping concentration and layer thickness with uniformity of ±1% over a 2-inch diameter wafer can be achieved [69]. Layers of thickness less than 100Å can be controllably produced by MBE, permitting one to fabricate multilayered superlattices for use in quantum well devices [70]. This topic is discussed more thoroughly in Chapter 18.…”
Section: Fig 413 a Schematic Of An Mbe Growth Systemmentioning
confidence: 99%
“…Σε ένα προσεκτικά σχεδιασμένο σύστημα ΕΜΔ, ο έλεγχος ντοπαρίσματος και ο έλεγχος του πάχους του δισκίου αγγίζει το ±1% σε μία διάμετρο δισκίου 2 ιντσών[31]. Στρώματα με πάχος μικρότερο των 100 Å μπορούν να παραχθούν με την ΕΜΔ, επιτρέποντας έτσι την κατασκευή πολυστρωματικών δομών, όπως για παράδειγμα διατάξεις κβαντικών πηγαδιών[32].Εικόνα 1-5. Σχηματική αναπαράσταση συστήματος επιταξίας μοριακής δέσμης.Ειδικές μετατροπές, θα πρέπει να γίνουν στο συμβατικό σύστημα εναπόθεσης ΕΜΔ, ώστε να μπορεί να κατασκευάσει διατάξεις της τάξης των νανομέτρων.…”
unclassified