Die Modifizierung von Oberflächen durch robuste Abscheidung einer Deckschicht bietet eine hervorragende Möglichkeit, die Eigenschaften eines sterisch anspruchsvollen Substrats auf die eigenen Interessen abzustimmen. Eine solche Kontrolle über die Oberflächeneigenschaften gewinnt immer mehr an Bedeutung mit der stetigen Verkleinerung aktiver Bestandteile in allen möglichen optoelektronischen Geräten ebenso wie mit dem entsprechend größeren Oberfläche/Volumen‐Verhältnis. Eine relevante einzustellende Eigenschaft ist z. B. das Ausmaß, in dem eine Oberfläche durch Wasser oder Öl benetzt wird. Zudem besteht für Anwendungen in der Biosensorik ein wachsendes Interesse an “romantischen Oberflächen” – Oberflächen, die alle möglichen biologischen Entitäten abweisen, mit einer Ausnahme, die von ihnen stark gebunden wird. Solche Systeme erfordern eine nachhaltige wie auch hochspezifische Einstellung der Oberflächeneigenschaften. Dieser Aufsatz erläutert eine Vorgehensweise für die Herstellung widerstandsfähiger Oberflächenmodifikationen an Oxiden, nämlich die kovalente Anbindung von Monoschichten.