Titanyum nitrür (TiN), titanyum oksit (TiO) ve titanyum oksinitrür (TiOxNy) ince filmleri eş-odaklı geometriye sahip püskürtme tekniği kullanılarak soda lime glass (SLG), katkısız silisyum (i-Si) ve 316L paslanmaz çelik (316LSS) alttaşlar üzerine büyütülmüştür. Elde edilen filmlerin fiziksel özelliklerinin iyileştirilmesi amacıyla, difüzyon fırınında farklı sıcaklıklarda ısıl işleme tabi tutulmuş ve filmlerin optik, yüzey ve yapısal özellikleri üzerine tavlama sıcaklığının etkisi araştırılmıştır. TiN, TiO, TiOxNy ince filmlerinin optik özellikleri Zayıflatılmış Toplam Yansıma (ATR), Fourier dönüşümü kızılötesi spektroskopisi (FTIR) ile yapısal özellikleri X-ışını kırınım difraktometresi (XRD) ile yüzey özellikleri atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ile belirlenmiştir. Analizlerden elde edilen sonuçlara göre, tavlama sıcaklığı TiN, TiO, TiOxNy ince filmlerin fiziksel özelliklerinde iyileşme yaratmıştır.