Nanoteknologi dan nanometrologi adalah dua bidang keilmuan yang tidak bisa dipisahkan. Perkembangan pesat pada penelitian yang menghasilkan produk nanoteknologi tentunya membutuhkan nanometrologi untuk menjamin kontrol kualitasnya. Tren pengembangan nanoteknologi saat ini terus mengalami peningkatan di seluruh dunia, termasuk di Indonesia. Indonesia sebagai negara dengan potensi pasar yang besar memiliki bahan baku untuk memproduksi material nano dan menjadikannya memiliki posisi yang diperhitungkan di dunia. Puslit Metrologi LIPI sebagai lembaga metrologi nasional memiliki peran untuk mengembangkan ketertelusuran nanometrologi di Indonesia. Makalah ini membahas mengenai pentingnya uji profisiensi pada bidang nanometrologi yang dilakukan dengan mengacu pada uji banding terdahulu oleh negara-negara yang tergabung dalam BIPM, terdiri atas berbagai jenis artefak, yaitu line width standards, step height standards, line scales, 1D gratings, 2D gratings, dan nano particle. Di Indonesia, kelompok penelitian nanometrologi dari Puslit Metrologi LIPI menyelenggarakan uji profisiensi untuk menguji validitas alat ukur nano yang digunakan di institusi penelitian. Berdasarkan hasil penelitian sebelumnya, uji profisiensi dilakukan pada alat ukur scanning electron microscope (SEM) yang paling banyak digunakan dan penjaminan ketertelusuran nanometrologi dilakukan dalam bidang dimensi. Uji profisiensi dirancang mengacu pada pengujian yang dilakukan Working Group Dimensional Metrology CCL Nano4 (WGDM CCL Nano4).