Präparation und Charakterisierung von Granateinkristalloberflächen

Abstract

Am Reispiel von Gadolinium-Gallium-Granaten (Gd,Ga,O,,) wird die Praparation von hochwertigen Einkristall-Substratoberfltichen bei sproden Materialien beschrieben. Lappund Polierprozelj niit verschiedenen oxidischen und Diamantmaterialien auf textilen Unterlagen werden diskutiert. Ein mechano-chemisches Polierverfahren auf der Basis SiOJH,FO4 wird beschrieben. Der Storgrad der Substratoberflachen nach mechanischer und mechano-chemischer Politur wird mittels Rontgenbeugung und Selektivatzung untersucht. Die erhaltenen Ergebnisse werden im Rahmen eines Sprodbruch-Modells des Abtragmechanismus diskutiert.The preparation of single crystal substrates of gadolinium gallium garnet as a typical example of a brittle material is described. The mechanical polishing with iron oxide and diamond as well as a mechano-chemical polishing procedure basing on SiOdH,PO, are investigated. Working damage is investigated by X-ray topography, double crystal spectrometry and selective etching. Results are discussed in the frame of a brittle fracture model of the abrasion process.