Chlortrifluoräthylen und 1,1,2‐Trichlortrifluoräthan wurden mit Silizium und Silizium‐Kupfer‐Gemischen umgesetzt. Nur mit 1,1,2‐Trichlorfluoräthan findet beim Rühren der Kontaktmasse und unter milden Bedingungen eine direkte Synthese mit gleichzeitiger Dechlorierung unter Bildung von Trifluorvinyltrichlorsilan statt.