The lattice damage of p-type CuInSe, single crystals implanted with 10 keV protons in the fluence range from 2.5 . to 8 . 1OI5 cm-' was investigated using the Rutherford backscattering/channeling technique. At proton fluences up to about 2 . 1015 cm-' radiation annealing of the defects is observed which is ascribed to very high defect concentrations in the unimplanted samples. At higher fluences radiation damage occurs but the concentration of radiation induced defects ramains low. There are indications that selenium interstitials or defect complexes with selenium interstitials involved are stable defects at room temperature.Die Gitterschadigung p-leitender CuInSe,-Einkristalle, die mit 10 keV -Protonen im Dosisbereich von 2,5 . 1014 bis 8 . lOI5 cm-2 implantiert wurden, ist mit der Methode der Rutherford-Riickstreuung und der Kanalisierungstechnik untersucht worden. Fur Protonendosen bis zu etwa 2 .cm-* wird eine Strahlenausheilung der Defekte beobachtet, was sehr hohen Defektkonzentrationen in den nicht implantierten Proben zugeschrieben wird. Bei hoheren Dosen tritt eine Strahlenschadigung auf, die Konzentration der strahlungsinduzierten Defekte bleibt jedoch klein. Es gibt Hinweise darauf, da13 entweder Selenatome auf Zwischengitterplatzen oder unter Beteiligung von Selenatomen auf Zwischengitterplatzen gebildete Defektkomplexe bei Raumtemperatur stabil sind.