Raman Spectroscopy of Nanocrystalline Chemical Vapor Deposition Diamond

Effect of Ar on the Properties of Diamond-Like Carbon Films

“…的相对含量， 使 sp 3 键的比例降低， sp 2 键转变的比例增加 [ 8] ， 因此薄膜硬度开始降低, 同时随着氩气流量在一 定范围内进一步增加， sp 2 键的含量会继续增加， 从而使薄膜的硬度继续降低。另外， 随着氩气流量的增加， 荷能离子可以使薄膜内部原子发生局域结构和应力弛豫， 促使部分 sp 3 键转变为 sp 2 杂化键， 导致 sp 3 键含量 的降低， 进而降低了薄膜的硬度。 3.4 氩气含量对 DLC 薄膜热稳定性的影响 通常 sp 3 结构决定 DLC 膜层的光学和机械性能， 而 sp 2 结构则影响膜层的电学性能 [9]…”

“…电 阻 率 大 于 有 氩 气 作 用 时 的 电 阻 率 ， 进 一 步 说 明 随 着 氩 气 含 量 的 增 加 ， 增 加 了 sp 2 键 的 含 量 。 当 温 度 高 于 240 ℃时， 膜层的电阻率迅速降低， 而且有氩气和无氩气作用下的 DLC 薄膜的电阻率几乎没什么差别， 说明 当 温 度 升 高 时 DLC 薄 膜 的 导 电 能 力 增 强 ， 这 说 明 膜 层 中 sp 2 结 构 不 断 增 加 ， 即 温 度 升 高 使 得 膜 层 中 的 碳 由 sp 3 键转变为 sp 2 键， 通常， 氢对稳定 sp 3 键结构和控制薄膜性能有关键的作用， 温度较低时， 只有少量的粒子 边界弱吸附的、 未成键的氢和弱键合的 C-H 键从薄膜中逸出， 这并没有引起薄膜结构的显著变化， 但随着 温度的进一步提高， 大量的氢以氢气和 CxHy 形式从薄膜中逸出， 导致薄膜中氢的含量快速减少， C-H 键的 含量随之减少， 大量的 C-H 键断裂诱导了薄膜中 sp 3 键向 sp 2 键转变。同时随着石墨纳米晶的快速长大， 薄 膜结构逐渐由类金刚石特征转变为类石墨特征 [9]…”