Recuit et gravure induits par laser sur silicium : expériences et simulations numériques

Abstract

Résumé : L'ensemble des processus se produisant pendant la fusion de surface induite par laser : diffusion de chaleur, des impuretés, ségrégation et désorption, est inclus pour la première fois dans une simulation numérique décrivant la gravure du silicium en présence de chlore. L'évolution de la surface pendant le puise laser, les énergies de désorption depuis la surface liquide, le coefficient de ségrégation du chlore dans le silicium, sont obtenus. Les implications pour d'autres systèmes que Cl/Si sont discutées.