Schichten aus kubischem Bornitrid (cBN) f?r innovative AnwendungenCubic Boron Nitride Coatings for Innovative Applisations

Abstract

Schichten aus kubischem Bornitrid (cBN), dem nach Diamant zweithärtesten aller bekannten Materialien, wurden mit einem Sputter‐Prozess hergestellt. Ein neuartiger Schichtaufbau, der auf einem speziellen B‐C‐N‐Schichtsystem basiert, ermöglicht die Abscheidung von cBN‐Schichten mit über 2μm Dicke, allerdings bisher nur auf Siliciumsubstraten. Die Eigenschaften der Schichten sind denen von massivem cBN sehr ähnlich. Es wurden vielversprechende Experimente zur Übertragung dieses für Werkzeugbeschichtungen und vielfältige andere Anwendungen interessanten Schichtsystems auf Werkzeugsubstrate durchgeführt. Erste Untersuchungen der mechanisch‐tribologischen Eigenschaften der auf Hartmetall‐ und Stahlsubstraten abgeschiedenen Schichten belegen das außergewöhnlich hohe Potential der cBN‐basierten Schichtsysteme.

cBN particle filled SiCN precursor coatings

“…one of the hardest material known, high thermal conductivity, excellent wear resistance and good chemical inertness. 39,40 The incorporation of cBN particles allows to tailor the functionalities of the coatings in a wide range. Figure 1 shows the scheme to produce the coatings.…”