Second crossover energy of insulating materials using stationary electron beam under normal incidence

Рау, Э. И.; Fakhfakh, S.; Andrianov, M. V.; Evstaf’eva, E. N.; Jbara, O.; Rondot, S.; Mouze, D.

doi:10.1016/j.nimb.2007.12.093

Cited by 58 publications

(25 citation statements)

References 28 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…To predict the sign of charging of electron-irradiated insulators under permanent irradiation, the so called total yield approach (TYA) is often used [12,13]. Nevertheless, this approach fails to explain the sign (+/−) of charging observed in the case of stationary electron irradiation [14][15][16][17][18][19].…”

Section: Fundamentalsmentioning

confidence: 99%

Experimental characterisation of charge distribution and transport in electron irradiated PMMA

Fakhfakh¹,

Jbara²,

Rondot³

et al. 2012

Journal of Non-Crystalline Solids

Self Cite

View full text Add to dashboard Cite

Section: Fundamentalsmentioning

confidence: 99%

Experimental characterisation of charge distribution and transport in electron irradiated PMMA

Fakhfakh¹,

Jbara²,

Rondot³

et al. 2012

Journal of Non-Crystalline Solids

Self Cite

View full text Add to dashboard Cite

“…Commonly, E 1 is in the range 50–200 eV which is too low for conventional SEM. However, E 2 is found between 500 eV and a few keV, suitable for SEM applications (Joy & Joy, ; Rau et al ., ).…”

Section: Charging Effectmentioning

confidence: 99%

A systematic investigation of the charging effect in scanning electron microscopy for metal nanostructures on insulating substrates

Flatabø

Coste

Greve

2016

Journal of Microscopy

View full text Add to dashboard Cite

Scanning electron microscopy is perhaps the most important method for investigating and characterizing nanostructures. A well-known challenge in scanning electron microscopy is the investigation of insulating materials. As insulating materials do not provide a path to ground they accumulate charge, evident as image drift and image distortions. In previous work, we have seen that sample charging in arrays of metal nanoparticles on glass substrates leads to a shrinkage effect, resulting in a measurement error in the nanoparticle dimension of up to 15% at 10 kV and a probe current of 80 ± 10 pA. In order to investigate this effect in detail, we have fabricated metal nanostructures on insulating borosilicate glass using electron beam lithography. Electron beam lithography allows us to tailor the design of our metal nanostructures and the area coverage. The measurements are carried out using two commonly available secondary electron detectors in scanning electron microscopes, namely, an InLens- and an Everhart-Thornley detector. We identify and discriminate several contributions to the effect by varying microscope settings, including the size of the aperture, the beam current, the working distance and the acceleration voltage. We image metal nanostructures of various sizes and geometries, investigating the influence of scan-direction of the electron beam and secondary electron detector used for imaging. The relative measurement error, which we measure as high as 20% for some settings, is found to depend on the acceleration voltage and the type of secondary electron detector used for imaging. In particular, the Everhart-Thornley detectors lower sensitivity to SE electrons increase the magnitude of the shrinkage of up to 10% relative to the InLens measurements. Finally, a method for estimating charge balance in insulating samples is presented.

show abstract

“…Но если явление зарядки электронными пуч-ками достаточно хорошо изучено [1][2][3][4][5][6][7], то проблемам зарядки диэлектрических мишеней под воздействием ионной бомбардировки посвящены лишь единичные ра-боты [8][9][10][11]. Также лишь в отдельных работах было проведено исследование процессов электронной зарядки диэлектрических сред после их предварительного облу-чения ионными и электронными пучками [12,13].…”

Section: Introductionunclassified

“…Его основу составляет двухслойная модель зарядки мишени, теоретически предложенная в работах [1][2][3] и подтвержденная рядом эксперимен-тов [4][5][6][7]. Согласно этой модели, при электронной бомбардировке диэлектрической мишени вблизи ее по-верхности образуется слой положительного заряда из-за эмиссии вторичных электронов (ВЭ).…”

Section: Introductionunclassified

“…Отметим, что в этой трактовке зарядки диэлектрика до сих пор остаются дискуссионные вопросы, в частно-сти противоречия в теоретических и экспериментальных работах (см., например, [1][2][3][4][5][6][7]) между приводимыми значениями времен зарядки и критической энергии E 2C . Причина этого противоречия, на наш взгляд, состоит в различии подходов к установлению взаимосвязи кине-тики поверхностных потенциалов V s и коэффициентов эмиссии электронов σ для заряжающихся в процессе облучения мишеней.…”

Section: Introductionunclassified

See 1 more Smart Citation

Электронно-Лучевая Зарядка Диэлектриков, Предварительно Облученных Ионами И Электронами Средних Энергий

Рау¹,

Татаринцев²,

Зыкова³

et al. 2017

Физика Твердого Тела

View full text Add to dashboard Cite

Изучены эффекты зарядки диэлектрических мишеней при облучении электронами средних энергий в сканирующем электронном микроскопе. Установлены существенные различия кинетики зарядки для исходных образцов и образцов, предварительно облученных электронами и ионами. Эти различия объясняются радиационно-стимулированным дефектообразованием в образцах Al2O3 (сапфир) и SiO2, имеющим, однако, различную природу. Показана роль модификации структуры поверхности и изменения электрофизических характеристик поверхности, в частности эффекта растекания зарядов. Обнаружены критические значения дозы облучения как ионами Ar+, так и электронами, при которых начинается активное дефектообразование в диэлектрических мишенях, а также критические значения внутренних полей зарядов, вносящих существенный вклад во временные характеристики зарядки Al2O3 и SiO2. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 15-02-07819а). DOI: 10.21883/FTT.2017.08.44749.460

show abstract

Second crossover energy of insulating materials using stationary electron beam under normal incidence

Cited by 58 publications

References 28 publications

Experimental characterisation of charge distribution and transport in electron irradiated PMMA

Experimental characterisation of charge distribution and transport in electron irradiated PMMA

A systematic investigation of the charging effect in scanning electron microscopy for metal nanostructures on insulating substrates

Электронно-Лучевая Зарядка Диэлектриков, Предварительно Облученных Ионами И Электронами Средних Энергий

Contact Info

Product

Resources

About