“…直接作用在测试质量上的加速度噪声主要来源 于磁 [54,55] 、热 [56] 、电 [57] 耦合噪声是一个重要而复杂的噪声, 由于其外部 来源不可控制, 耦合效应主要通过耦合刚度来表征, 影响耦合刚度的主要因素有引力梯度和电容传感器 引起电容梯度, 其中引力梯度影响更为剧烈 [52,61,62] , 因而对于惯性传感器设计而言, 从始至终都需要考虑 引力梯度的影响, 而对于电容梯度来说, 其作用主要 表现为电极板和测试质量之间的电位差, 而对于这部 分影响主要是电荷累积以及材料本身由于 patch field 影响, 电荷累积需要加入电荷管理系统来实现, 而这 种影响则需要通过控制相关表面清洁度和化学污染 来降低, 应该控制到 0.1V [59,63] .…”