Simulation of PECVD SiO<sub>2 </sub>Deposition Using a Cellular Automata Approach

Colombo, Fábio Belotti; Carreño, M.N.P.

doi:10.1149/04901.0297ecst

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“…Embora não descrito no presente trabalho, variações sobre outros autômatos celulares também foram desenvolvidas e testadas. Uma dessas variações envolve a simulação do efeito de obstruções sobre um processo de deposição (COLOMBO; CARREÑO, 2012). O algoritmo descrito por Strasser e Selberherr (1995) foi modificado de forma a modificar a taxa de deposição do filme em função de obstruções, como a presença de uma parede próxima à superfície, bem como variações para simular deposições não conformes de filmes de óxido de Si.…”

Section: Contribuições E Publicaçõesunclassified

Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação.

Colombo¹

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Autômatos celulares e suas variações são atualmente utilizados para simulação de diversos processos físicos. De especial interesse para o campo de simulação de processos de microfabricação são os autômatos celulares para evolução de frentes circulares e elípticas e os autômatos celulares para corrosão anisotrópica de Si. No presente trabalho é apresentado um autômato celular alternativo para uso na simulação da evolução topográfica de uma superfície. Este autômato celular apresenta diversas vantagens em relação aos autômatos celulares reportados na literatura, como menor vizinhança e melhores resultados para grandes redes de células. Também foi avaliada a viabilidade do uso de um autômato celular multipartículas para simulação de processos de dopagem e oxidação térmica do silício. Este autômato celular multipartículas se mostrou uma alternativa interessante para simulação da dopagem de Si por impurezas. Aqui é apresentado também detalhes do software desenvolvido, o simMEMS, para incorporar estes autômatos celulares em um único ambiente, permitindo assim a simulação do processo de fabricação completo de inúmeros dispositivos como MEMS, MOEMS e dispositivos e circuitos microeletrônicos. São também, como exemplo, o processo de fabricação de um microespelho para projeção digital de luz, uma porta lógica NOR e uma microagulha para uso em uma matriz de eletrodos com aplicações em biologia e medicina. Palavras-chave: Autômatos celulares. Simulação. Microeletrônica, Sistemas microeletromecânicos. ABSTRACT COLOMBO, F. B. Using Cellular Automata to Simulate Microfabrication Processes. 2016. 150 f. Thesis (Doctorate). Escola Politécnica -Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Cellular automata and their variations are currently used to simulate a large range of physical phenomena. Of special interest to the microfabrication field are cellular automata for the propagation of circular and elliptical fronts as well as cellular automata for the simulation of silicon wet etching. Here an alternative cellular automaton for use in surface propagation is presented. This cellular automaton has several advantages over those reported in the literature, such as a smaller neighborhood e better results in large grid simulations. The results on the study on the viability of using a multiparticle cellular automaton for simulation of reaction diffusion systems in microfabrication simulation are also reported. The multiparticle cellular automaton was used to simulate both dopant diffusion in silicon and silicon thermal oxidation. This multiparticle cellular automaton was found to be of interest to the simulation of dopant diffusion in silicon.Details of the implementation of the software developed to incorporate these cellular automata, called simMEMS, and allow for the simulation of complex MEMS, MOEMS and microelectronic circuits and devices are also presented. The fabrication processes of several complex devices, including a micromirror for digital light projection, a quad NOR logic gate IC and a microneedle for use in a medical elec...

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Section: Contribuições E Publicaçõesunclassified

Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação.

Colombo¹

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Numerical investigation of heat and mass transfer flow under the influence of silicon carbide by means of plasma-enhanced chemical vapor deposition vertical reactor

Shirvan

Ellahi

Sheikholeslami

et al. 2017

Neural Comput & Applic

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A novel cellular automaton for simulation of film deposition and etching processes

Colombo

Carreño

2013

28th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2013)

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Simulation of PECVD SiO₂Deposition Using a Cellular Automata Approach

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Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação.

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A novel cellular automaton for simulation of film deposition and etching processes

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