Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition

Abstract

The optical properties of the hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films, prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition technique from silane and methane gas mixture diluted in helium, have been investigated using variable angle spectroscopic ellipsometry in the photon energy range from 0.73 to 4.59 eV. Tauc–Lorentz model has been employed for the analysis of the optical spectra and it has been demonstrated that the model parameters are correlated with the carbon content as well as to the structural properties of the studied films.

In-situ spectroscopic ellipsometry and structural study of HfO2 thin films deposited by radio frequency magnetron sputtering

“…Theory of spectroscopic ellipsometry Spectroscopic ellipsometry for being comprehensive, non-contact, non-destructive, and also offering the possibility of in-situ characterization has become an effective surface probe 20,21,[26][27][28] for the optical characterization of thin films of interest. The SE spectra were denoted by the parameters W and D. RHO (q) represents the amplitude ratio of r p and r s , the reflection coefficients of the polarized light corresponding to parallel and perpendicular to the incident plane, respectively, while W denotes the amplitude ratio (tan(W) ¼ jr p j/jr s j) and D represents the phase shift between p and s components, respectively.…”

Lézerrel kezelt szilícium felületek, valamint impulzuslézeres rétegépítéssel előállított amorf szilícium és SixC vékonyrétegek ellipszometriai vizsgálata

“…Sok esetben azonban éppen nem a sztöchiometrikus összetétel a cél, mert a szilícium és szén arányának változtatásával hangolhatóvá válik a réteg több tulajdonsága, például a tiltottsáv-szélessége vagy a törésmutatója [48]. Az ilyen változó összetételű rétegeknek is több alkalmazása lehet, pl.…”

“…Az ilyen változó összetételű rétegeknek is több alkalmazása lehet, pl. vékonyréteg tranzisztorok, napelemek, fotodetektorok [38,[48][49][50][51].…”

“…A leggyakrabban azonban oszcillátor modelleket használnak, pl. Lorentz-modellt [50], Forouhi-Bloomer-modellt [101], vagy Tauc-Lorentz-modellt [48,50,52,55]. A publikációk nagy része a szilícium-szén rétegek tulajdonságait az összetételtől vagy a hőmérséklettől függően vizsgálja.…”

“…Az eredmények alapján adott hőmérsékletre kiszámolható a réteg dielektromos függvénye. Basa és munkatársai a modellparaméterek összetételfüggését vizsgálták, és a modell amplitúdó paraméterét a void tartalommal, míg a szélesség paramétert az Urbach-energiával és a rendezetlenséggel hozták kapcsolatba [48].…”