Spitzenwirkungsgrade bei sinkenden Herstellungskosten

Abstract

Die Manz AG kommt mit der neuen Beschichtungsanlage VCS1200 der Forderung der PV-Industrie nach immer höheren Wirkungsgraden bei gleichzeitig sinkenden Produktionskosten nach. Mittels neuartiger HP-ICP Technologie konnten bereits Wirkungsgrade über 20% erreicht werden. Die hohe Gaszersetzung, die mit diesem Verfahren erreicht wird, sorgt für kompakte Schichten mit sehr guten Passiviereigenschaften. Das ebenfalls neu entwickelte elektrostatische Carriersystem sorgt für eine geringe mechanische Belastung der Wafer bei gleichzeitig vollflächig homogener Abscheidung. Die VCS1200 kann sowohl für Rückseiten-Passivierungen als auch für Vorderseiten-Antireflexbeschichtungen eingesetzt werden.ABBILDUNG 1: Schematische Darstellung einer typischen Industriesolarzelle mit ganzflächig siebgedrucktem Al-BSF (links) und einer PERC-Solarzelle (rechts) mit einer dielektrischen Rückseitenpassivierung und lokalgeöffneten Aluminiumkontakten. ViP 25 ABBILDUNG 2: Die nahezu vollständige Zersetzung der Präkursorgase wurde mittels Massenspektrometrie nachgewiesen.