Structure, Operating Principle and Perspective Development of Lithographic Systems for Synthesis of Planar Optical Elements

Abstract

Представлены два сканирующих лазерных нанолитографа, разработанных в Институте автоматики и электрометрии СО РАН и работающих в прямоугольной и полярной системе координат. Описаны принципы работы данных нанолитографов, методы повышения их разрешающей способности, проанализированы перспективы и направления их развития. Продемонстрированы первые результаты записи регулярных тестовых решеток на пленках металлов.Ключевые слова: сканирующий лазерный нанолитограф, дифракционные решетки, тонкие металлические пленки, термохимическая лазерная запись.