Study of Adsorption Properties of Nanostructured Films Based on Tin Dioxide

Abstract

Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований свойств поверхности наноструктурированных плёнок на основе диоксида олова методами ИК-Фурье-спектроскопии, эллипсометрии, а также индикаторным методом распределения центров адсорбции. Для дополнительной постобработки наноструктурированных плёнок с целью активации адсорбционных центров использовано травление в индуктивно-связной плазме. The results of theoretical and experimental studies of surface properties of nanostructured films based on tin dioxide using Fourier-transform infrared spectroscopy, ellipsometry and the indicator method of the distribution of adsorption centers are presented. Etching in inductively coupled plasma was used for additional post-processing of nanostructured films in order to activate the adsorption centers.