Synthesis, microstructural and optical characterization of LiNbO3 thin films deposited by aerosol assisted chemical vapor deposition

Abstract

, microstructural and optical characterization of LiNbO 3 thin films deposited by aerosol assisted chemical vapor deposition Síntesis, caracterización micro-estructural y óptica de películas delgadas de LiNbO 3 depositadas mediante depósito químico de vapor asistido por aerosol Keywords: LiNbO 3 thin films; aerosol assisted chemical vapor deposition (AACVD) ; piezoelectric material. Palabras clave: Películas delgadas de niobato de litio; depósito químico de vapor asistido por aerosol; material piezoeléctrico.