Temperature behaviour on deposition of the titanium nitride thin films on the H13 steel by the electric arc discharge in vacuum

Abstract

Comportamiento de la temperatura en la deposición de películas delgadas de nitruro de titanio sobre acero H13 mediante la descarga de arco eléctrico en vacíoComportamento da temperatura na deposição dos filmes delgados de nitreto de titânio sobre el acero H13 mediante la descarga de arco elétrico no vácuo ResumenObjetivo: En el presente trabajo de investigación se estudia el comportamiento de la temperatura del sustrato, fabricado en acero de tipo AISI H13, en el rango de y , durante la deposición superficial de películas delgadas de nitruro de titanio (TiN) por la técnica de arco catódico en vacío. Resultados: Las propiedades físicas de las películas de TiN fueron obtenidas y analizadas mediante las técnicas la micro-indentación, microscopía de fuerza atómica (AFM) y la difracción de rayos x (DRX). Conclusión: Se determinó que el incremento en la temperatura del sustrato durante la deposición de las películas de TiN, mejora las propiedades mecánicas de la superficie del acero de tipo AISI H13, donde la mayor dureza se presentó en el recubrimiento depositado a una temperatura de , el cual tiene una orientación preferencial en el plano determinada por los patrones de DRX. técnicas de micro-indentação, microscopia de força atómica (AFM) e difracção de raios-X (DRX). Conclusão: determinou-se que o aumento de temperatura do substrato durante a deposição do filme de TiN, melhora as propriedades mecânicas da superfície do aço de tipo AISI H13, onde a maior dureza foi apresentada no revestimento depositado a uma temperatura de , que tem uma orientação preferida no plano determinados pelos padrões de DRX.