Kekerasan nanokomposit nc-TiN/a-Si 3 N 4 yang diperoleh dengan dengan dua metode pengukuran yaitu pengukuran kedalaman indentor dan pengukuran luas bekas indentasi yang diperbesar dengan SEM (Scanning Electron Microscope) memberikan hasil yang sama. Nilai kekerasan yang diperoleh tidak dipengaruhi oleh biaksial dan residual kompresif stress. Pengukuran biaksial stress pada substrat menghasilkan nilai yang sangat kecil dan perlakuan termal menunjukkan kekerasan yang tetap dengan ukuran butir yang tetap. Kekerasan yang diperoleh diyakini sebagai nilai kekerasan yang intrinsik yang tergantung pada sifat mikrostrukturnya.