The parallel cylindrical mirror analyzer: axis-to-axis configuration

New multichannel electron energy analyzer with cylindrically symmetrical electrostatic field

“…From the simulation, the absolute dispersion is nearly constant at 1.97 × 10 −2 mm · eV −1 The resolution varies from 10 eV to 2 eV, for most energies keeps below 2 eV, which well corresponds to [4]. The result of the experiment is a 400 pixel long spectrum.…”

Энергоанализатор Заряженных Частиц, Состоящий Из Плоского И Двугранного Уголкового Электродов, С Большим Диапазоном Одновременно Регистрируемых Энергий

“…Во втором режиме разрешение по энергии улучшается практически на порядок. Конструкция и питание такого спектрографа проще по сравнению со спектрографами с разрезным внешним электродом [4][5][6][7][8], его габариты невелики и в рабочей плоскости не превышают 1.2 × 1.2 расстояния от ребра двугранного угла по его биссектрисе до плоского электрода.…”

“…Прорыв произошел, когда автор работы [4] предложил на внешний электрод цилиндрического конденсатора подавать потенциал, возрастающий по линейному закону. В работе [5] были выполнены численные расчеты такой системы, и оказалось, что диапазон одновременно регистрируемых энергий E сильно возрос до E max /E min = 24 при хорошем разрешении по энергии ρ = (3.6−4.3) · 10 −3 . Далее в работе [6] предложено использовать в качестве спектрографа плоский конденсатор, на внешний электрод которого по аналогии с [4] подается линейно возрастающее напряжение.…”

Redesign of the scanning electron microscope for parallel energy spectral acquisition

“…However, a detailed comparison between the CMA and the present spectrometer is not meaningful, since the CMA does not provide a parallel energy spectrum. A better comparison would be with the parallel energy spectrometers proposed by Jacka et al [10,11], Read [12,13] or Kienle and Plies [14].…”