Vakuummeßgeräte Teil 3: Genauigkeit und Kalibrierung

Abstract

Bei &r Auswahl eines Vakuum-MeJgerates spielt hau& die Genauigkeit eine wesentlicheRolle. Je nach Druckbereich werden Gerate mit unterschiedlichen Funktionsprinzipien in verschiedenen Qualitatsstufen angeboten. Die Gerate zeigen iiblicherweise den Zustand d e s Vakuums in Druckeinheiten (Millibar oder Pascal) an, detektieren jedoch im Hoch-und Ultrahochvakuumbereich nicht unmittelbar den Druck sondern andere Eigenschaften des Gases. Um die Druckanzeige zu erhalten, kalibrieren die Hersteller die Gerate mit Hiwe bekannter Driicke. Die mit einem Vakuum-MeJgerat erzielbare Genauigkeit hangt somit von der Qualitat der Kalibrierung als auch von der Stabilitat des Gerates in Bezug auf die Zeit ab.