Verfahren zur kombinierten Form- und Zentrierprüfung mikrooptischer Asphären mit optischer Kohärenztomographie

Abstract

ZusammenfassungMikrooptische Asphären aus Kunststoff spielen zunehmend eine Rolle bei Sensing- und Imagingapplikationen. Die messtechnische Charakterisierung dieser Bauteile stellt im Stand der Technik jedoch noch immer eine Herausforderung dar. In dieser Arbeit wird ein auf optischer Kohärenztomographie (OCT) basierendes Verfahren vorgestellt, welches in der Lage ist, die Form- und Zentrierung beider Funktionsflächen mikrooptischer Asphären mit nur einer Messung zu erfassen. Die Herausforderung stellt dabei die Messung der dem Messkopf abgewandten Funktionsfläche dar, da diese aufgrund der Lichtbrechung an der dem Messkopf zugewandten Funktionsfläche verzerrt gemessen wird und mit Hilfe von Raytracing korrigiert werden muss.

Fast, semi-automated geometric and functional characterization of miniaturized lenses using optical coherence tomography-based systems and wavefront sensors

“…To mitigate the effects of refraction-induced distortions, correction algorithms are necessary to produce more precise and reliable images, some algorithms have been reported for corneal thickness and shape characterization [5,6]. In the case of lens testing, specific processing steps must be executed to accurately characterize both surfaces' topographies, as well as determining the central thickness, decentration, and tilting between both surfaces [7]. Figure 2 provides a summary of the processing chain utilized in OCT-lens testing.…”

“…While OCT has demonstrated reliability in scanning lenses with high scattering properties [7,8], it may have some limitations for non-highly scattering samples. In order to assess the capability of OCT in the geometric characterization of miniaturized non-highly scattering lenses, two lenses with different geometries made of distinct glasses were chosen as examples.…”

Inline Optical Coherence Tomography for Multidirectional Process Monitoring in a Coaxial LMD-w Process

“…Applications can be found for example in the characterization of optics [8], and in the quality inspection of polymers and ceramics [9,10]. Since the axial and lateral resolution of OCT are not coupled, samples with high aspect ratios can also be examined.…”