تم تحضير غشاء رقيق على قواعد زجاجية من جزيئات أكسيد الكادميوم النانوية بتقنية الفراغ الحراري. تم تلدين الأغشية عند (300, 350 and 425) درجة مئوية لمدة ساعتين. لوحظ تأثير تغيير المعالجة الحرارية على الخصائص التركيبية والتركيب المايكروي. حيث يؤكد تحليل حيود الأشعة السينية (XRD) ومجهر القوى الذرية (AFM) أن أغشية أوكسيد الكادميوم (CdO) عبارة عن هيكل مكعب متعدد التبلور وأتجاه النمو المفضل على طول مستوى (111), والتي له معامل نسيج (TC) عند القيم (1.261, 1.310, 1.355 and 1.124) قبل وبعد تلدين الأغشية. يزداد حجم الحبوب من 73.79 نانومتر إلى86.17 نانومتر مع زيادة درجة حرارة التلدين. أثبتت نتيجة الفحص المجهري الإلكتروني (SEM) وجود هياكل نانوية متجانسة ذات حجم حبيبات نانوية مميز وأشكال مختلفة لجميع الأغشية.