Μελετη Της Οξειδωσης Του Πυριτιου Και Των Προκαλουμενων Ατελειων Σε Δομες Πυριτιου Πανω Σε Μονωτικο

Abstract

Η παρούσα διδακτορική διατριβή εκπονήθηκε στο Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής του ΕΚΕΦΕ "Δημόκριτος" σε συνεργασία με το Φυσικό Τμήμα του Αριστοτέλειου Πανεπιστήμιου Θεσσαλονίκης. Μέρος της πειραματικής εργασίας πραγματοποιήθηκε στο Laboratoire de Physique des Composant a Semiconducters (LPCS) της ENSERG (Grenoble). Εκφράζω τις θερμές ευχαριστίες μου σε όσους συνετέλεσαν στην υλοποίηση της : Τα μέλη της τριμελούς συμβουλευτικής επιτροπής, Καθ. Ι. Στοϊμένο, Καθ. Θ. Καρακώστα και Επίκ. Καθ. Φ. Κομνηνού του .Φυσικού Τμήματος του ΑΠΘ για τις χρήσιμες υποδείξεις και παρατηρήσεις τους. Το Δρ. Δ.Τσουκαλά, για την αδιάκοπη και αποτελεσματική καθοδήγηση του, το φιλικό πνεύμα που διέκρινε τη συνεργασία μας και το αμέριστο ενδιαφέρον του για την επίλυση των προβλημάτων που προέκυψαν. Το Δρ. P. Normand, για την πολύτιμη συνεισφορά του σε θέματα φυσικής των ατελειών. Το ερευνητικό προσωπικό του Ινστ. Μικροηλεκτρονικής για την παροχή των γνώσεων που αβίαστα μου προσέφεραν και ιδιαίτερα την κ. Ε. Τσώη, για την πολύτιμη και καθοριστική βοήθεια της σε θέματα τεχνολογικών διαδικασιών και το Δρ. Ν. Γλέζο, για τη βοήθεια του σε θέματα μαθηματικής φυσικής. Το Δρ. Γ. Βεκτνη, του Ινστ. Επιστήμης Υλικών του ΕΚΕΦΕ "Δημόκριτος" για την πολύτιμη βοήθεια του και την παραχώρηση του απαραίτητου εξοπλισμού για τη διεξαγωγή μέρους της πειραματικής μελέτης. Το ερευνητικό προσωπικό του LPCS/ENSERG και ιδιαίτερα την Καθ. Ν. Guillemot για τη βοήθεια της κατά το διάστημα της παραμονής μου. Τους συναδέλφους υποτρόφους του Ινστ. Μικροηλεκτρονικής, και ιδιαίτερα τους Δρ. Β. Βαλαμόντε και Δρ. Ι. Ράπτη και για την ενθάρυνσή τους και το ενδιαφέρον τους, κάθως και τους κ.κ Η. Μπούρα, Ν. Χαραλαμπίδη και Σ. Χατζανδρούλη, για την συνεχή βοήθεια τους σε θέματα υπολογιστών. Το διοικητικό και τεχνικό προσωπικό του Ινστ. Μικροηλεκτρονικής και ιδιαίτερα την κα. Ζ. Μακρτδη και τους κ.κ. Ζ. Μακρίδη και Ι. Μαυροπουλη για την προθυμία και την αποτελεσματικότητα τους στη επίλυση των προβλημάτων που παρουσιάστηκαν. Το ΕΚΕΦΕ "Δημόκριτος" που υποστήριξε οικονομικά αυτή την προσπάθεια. Τέλος, θέλω να ευχαριστήσω την γυναίκα μου Κατερίνα για την υποστήριξη και τη συμπαράσταση της όλα αυτά τα χρόνια. Σε εκείνη και στα παιδιά μου αφιερώνεται η παρούσα διατριβή.