Abstract:Установлена возможность детектирования H 2 по регистрации сигнала тер-моэдс, который возникал между поверхностями пластины 6H-SiC толщи-ной 400 µm. Рабочая поверхность пластины модифицировалась за счет на-несения газочувствительной пленки WOx и каталитической Pt. На тыловой поверхности пластины создавался омический контакт (Ni/Pt), и эта поверх-ность поддерживалась при стабилизированной температуре 350• C. Градиент температуры по толщине пластины возникал за счет охлаждения рабочей поверхности воздушной средой… Show more
Set email alert for when this publication receives citations?
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.