Влияние постоянного магнитного поля на формирование силицидных фаз в структуре Cu/Si(100) при изотермическом отжиге

Abstract

Экспериментально показано, что процесс твердофазного синтеза силицида меди является магниточувствительным. При низкотемпературном вакуумном отжиге тонкопленочной структуры Cu/Si(100) постоянное магнитное поле умеренной напряженности стимулирует образование твердого раствора кремния в меди и подавляет синтез фазы Cu3Si. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44566.8379

Формирование Нанопористых Пленок Силицидов Меди

“…При комнатной температуре стабильными являются следующие основные фазы: αтвердый раствор кремния в меди, γ -Cu 5 Si (пентамеди силицид), ε -Cu 15 Si 4 и η ′′ -Cu 3 Si (тримеди силицид). Формирование той или иной фазы зависит не только от соотношения компонентов в исходной структуре и температуры ее отжига, но также от уровня дефектности пленок, материала подслоя между пленочной структурой и подложкой [9] и даже от воздействия внешнего магнитного поля [10].…”