Генерация Квантово-Каскадного Лазера С Тонкой Верхней Обкладкой

Abstract

Experimental results on the manufacturing and study of the properties of 7-8 μm wavelength range injection quantum-cascade lasers (QCLs) with a waveguide with a thin top cladding layer based on indium phosphide are presented. The heterostructure is formed by molecular beam epitaxy on an InP substrate, with a In0.53Ga0.47As/Al0.48In0.52As active region. Lasing at a wavelength of 7.8 μm at a temperature of 300 K with a threshold current density of ~ 6 kA / cm2 is obtained. Characteristic temperature T0 and T1 values for the QCLs are about 150 K and 450 K, respectively. Obtained results confirm the promising design of the QCLs with a waveguide with a thin top cladding layer for detecting liquids and microfluidic devices development.

Квантово-Каскадные Лазеры С Распределенным Брэгговским Отражателем, Сформированным Методом Ионно-Лучевого Травления

“…Использована конструкция волновода с тонкой верхней обкладкой толщиной 750 nm на основе фосфида индия. Активная область сформирована на основе гетеропары твердых растворов In 0.53 Ga 0.47 As/Al 0.48 In 0.52 As с двухфононным опустошением нижнего уровня в каскаде [17].…”

“…Формирование кристалла ККЛ проводилось по методике, аналогичной описанной ранее [18]. Использована конструкция глубокой мезы с затравом в подложку.…”