2017
DOI: 10.21883/ftp.2017.09.44881.8512
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Генерация Поверхностных Электронных Состояний На Границе Раздела Кремний-Сверхтонкий Окисел В Процессе Полевого Повреждения Структур Металл-Окисел-Полупроводник

Abstract: Проведены измерения высокочастотных вольт-фарадных характеристик структур металл-окисел-полупроводник (МОП) на n-Si-МОП подложках с толщиной окисла 39 Angstrem, подвергнутых повреждению при полевом стрессе. Показано, что воздействие на сверхтонкий изолирующий слой сильного, но допробойного, электрического поля приводит к образованию большого числа дополнительных пограничных локализованных электронных состояний с уровнем, отстоящим от дна зоны проводимости кремния на 0.14 эВ. Обнаружено, что перезарядка вновь о… Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
1

Citation Types

0
0
0
1

Year Published

2018
2018
2023
2023

Publication Types

Select...
2

Relationship

1
1

Authors

Journals

citations
Cited by 2 publications
(1 citation statement)
references
References 9 publications
0
0
0
1
Order By: Relevance
“…Вольт-фарадные характеристики (ВФХ) гетерострук-тур на основе BST измерялись при комнатной тем-пературе на компьютеризированной установке с ис-пользованием прецизионного измерителя LCR Agilent E4980A [8]. Частота измерительного сигнала 100 kHz с амплитудой 25 mV.…”
Section: методы получения и исследованияunclassified
“…Вольт-фарадные характеристики (ВФХ) гетерострук-тур на основе BST измерялись при комнатной тем-пературе на компьютеризированной установке с ис-пользованием прецизионного измерителя LCR Agilent E4980A [8]. Частота измерительного сигнала 100 kHz с амплитудой 25 mV.…”
Section: методы получения и исследованияunclassified