Гибкий SnO2<Co>/МСУНТ сенсор для обнаружения низких концентраций паров перекиси водорода

Abstract

Изготовлены гибкие газовые сенсоры на основе структуры SnO2&lt;Co&gt;/МСУНТ (многостенные углеродные нанотрубки). Представлены результаты исследований газочувствительных характеристик изготовленного SnO2&lt;Co&gt;/МСУНТ сенсора под воздействием паров перекиси водорода при различных рабочих температурах. Измерена толщина чувствительного слоя сенсора, составляющая ~75 нм. Исследуемый сенсор обнаруживал чувствительность к парам перекиси водорода уже при комнатной температуре. Сопротивление чувствительного слоя увеличивается более чем в 22 раза под воздействием паров перекиси водорода с концентрацией 4.4 ppm при рабочей температуре 25С. Максимальное значение чувствительности к указанной концентрации паров перекиси водорода наблюдалось при рабочей температуре 75С, при которой было зафиксировано увеличение сопротивления сенсора в ~50 раз.