Изменения Фотоэлектрических Свойств Нелегированных Пленок Аморфного Гидрированного Кремния Под Влиянием Предварительного Освещения При Повышенных Температурах

Abstract

Проведено исследование влияния предварительной слабой засветки при повышенных температурах на фотоэлектрические свойства нелегированных пленок alpha-Si : H. Установлено, что темновая проводимость и фотопроводимость пленок растут с увеличением интенсивности предварительной засветки, а параметр γ, определяющий зависимость фотопроводимости от интенсивности освещения, уменьшается вследствие увеличения доли бимолекулярной рекомбинации электронов на энергетических уровнях хвоста плотности состояний зоны проводимости. Предположено, что это может быть обусловлено наличием неконтролируемой примеси кислорода и увеличением электрически активной концентрации кислорода в результате предварительного освещения пенки при повышенных температурах. Ключевые слова: аморфный гидрированный кремний, alpha-Si : H, фотоиндуцированные метастабильные состояния, аномальный эффект Стеблера--Вронского, люксамперная характеристика, энергия активации, кислород.