2021
DOI: 10.21883/jtf.2021.10.51372.132-21
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Исследование Динамики Разогрева Анодных Узлов В Безмасочном Нанолитографе На Основе Массива Микрофокусных Рентгеновских Трубок

Abstract: Исследована динамика разогрева матрицы узлов анодной мембраны с прострельной мишенью под действием автоэмиссионного тока, генерируемого в электронной системе безмасочного рентгеновского нанолитографа. Определены перспективные материалы мембраны, обеспечивающие эффективный теплоотвод от матрицы анодных узлов, среди которых алмазоподобные пленки показали наилучший результат. При рассчитанной мощности мягкого рентгеновского излучения P_X=2.5 nW, рассеиваемой на пикселе размером 20 nm, и дозе облучения рентгенорез… Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...

Citation Types

0
0
0

Publication Types

Select...

Relationship

0
0

Authors

Journals

citations
Cited by 0 publications
references
References 17 publications
0
0
0
Order By: Relevance

No citations

Set email alert for when this publication receives citations?