Исследование импедансных характеристик наноструктурного ZnO<La> сенсора паров перекиси водорода

Abstract

Изготовлен наноструктурный сенсор для обнаружения паров перекиси водорода. Газочувствительная пленка сенсора на основе легированного 2 ат.% La металлоксида ZnO получена методом высокочастотного магнетронного распыле- ния. В области температур от комнатной до 200С исследованы импедансные и вольт-амперные характеристики ZnO&lt;La&gt; сенсора как до, так и после воздействия паров перекиси водорода. На основе анализа частотных характеристик ком- плексного импеданса предложена эквивалентная электрическая цепь для исследуемой сенсорной структуры, оценены параметры составляющих ее элементов и рассчитаны аппроксимирующие кривые. Показано, что основной вклад в чувствительность изготовленного сенсора дают процессы, протекающие на поверхности полупроводниковой пленки. Исследовано влияние изменения концентрации целевого газа на чувствительность ZnO&lt;La&gt; сенсора.