Исследование Параметров Наноразмерного Слоя В Наногетероструктурах На Основе Полупроводниковых Соединений a-=sup=-Ii-=/Sup=-B-=sup=-Vi-=/Sup=--=sup=- 1-=/Sup=-

Abstract

Методами локальной катодолюминесценции и рентгеноспектрального микроанализа проведено комплексное исследование широкозонных наногетероструктур на основе ZnSe, полученных методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Было показано, что используемые методы позволяют неразрушающим способом определять глубину залегания, элементный состав и геометрические параметры наноразмерного слоя ZnCdSe. Точность результатов контролировалась методом просвечивающей электронной микроскопии. Методики исследования основаны на возможности варьирования энергии первичного электронного пучка, что приводит к изменению областей генерации характеристического рентгеновского излучения и катодолюминесценции. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8249