“…Интерес обусловлен фундаментальным и прикладным значениями наноразмерных систем и вакуумных технологий в различных областях химии и физики, в частности возможностью создания высокоскоростных молекулярных пучков импульсного типа [1], травлением кремневых пластин [2], оценкой утечки газа через компрессорные клапаны [3], моделированием потока газа в наноподшипниках [3] и т. д. Для разработки и практического применения описанных выше технологий необходимо подробное описание потоков массы газа и тепла через каналы различного поперечного сечения. С учетом этого рядом авторов рассматривались каналы с различной конфигурацией: прямоугольный [3][4][5][6][7], эллиптический [8][9][10][11], цилиндрический [12][13][14], треугольный [2], в форме трапеции [15]. В работах [8][9][10] для получения макропараметров внутренних течений в эллиптическом цилиндре была использована S-модель кинетического уравнения, в [11] -уравнение Вильямса.…”