Мембранный Мэмс-Датчик Давления На Тепловом Принципе Действия Для Измерения Субатмосферного Диапазона Давлений

Abstract

Предложена оригинальная концепция теплового датчика давления и проведен численный анализ его рабочих характеристик. Показано, что оптимальная конструкция датчика обеспечивает чувствительность до 4,4 мК/Па в широком диапазоне давлений (от 0,01 до 100 кПа).