2017
DOI: 10.21883/ftp.2017.01.44005.8318
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Наноразмерные пленки Cu-=SUB=-2-=/SUB=-O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств

Abstract: Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой … Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
1

Citation Types

0
1
0

Year Published

2018
2018
2018
2018

Publication Types

Select...
2

Relationship

0
2

Authors

Journals

citations
Cited by 2 publications
(1 citation statement)
references
References 8 publications
0
1
0
Order By: Relevance
“…Analysis and research of methods of nanostructured layers formation, in particular copper, show that magnetron sputtering is effective and promising method [25,26,27,28]. The work [27] presents the results of studies on technological parameters influence on the morphology of copper nanostructured films in magnetron sputtering.…”
Section: мікросистеми та фізична електронікаmentioning
confidence: 99%
“…Analysis and research of methods of nanostructured layers formation, in particular copper, show that magnetron sputtering is effective and promising method [25,26,27,28]. The work [27] presents the results of studies on technological parameters influence on the morphology of copper nanostructured films in magnetron sputtering.…”
Section: мікросистеми та фізична електронікаmentioning
confidence: 99%