О пределе инжектирующей способности кремниевых p-=SUP=-+-=/SUP=--n-переходов, обусловленном влиянием фундаментальных физических эффектов

Abstract

С учетом совокупности нелинейных физических эффектов: электронно-дырочного рассеяния, оже-рекомбинации, сужения ширины запрещенной зоны, нелинейной зависимости времени жизни и подвижности носителей от легирования получены аналитические выражения, описывающие зависимости тока утечки p+-n-перехода от уровня легирования p+-области. Показано, что эта зависимость имеет минимум, при котором инжекционная способность перехода максимальна. Проанализирована зависимость положения точки экстремума от основных параметров сильно легированного материала. Полученные результаты позволяют оптимизировать структуру мощных кремниевых приборов и облегчить адекватность оценки численных расчетов. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44564.8403

Структурное Совершенство И Состав Легированных Галлием Термомиграционных Слоев Кремния

“…Наиболее технологически удобной лигатурой для кремния при ThM является алюминий, позволяющий достичь в слоях кремния концентрации акцепторов в диапазоне (1−2) • 10 19 cm −3 . Для ряда приложений актуальным является получение слоев с более высокой концентрацией примеси [5]. Это может быть осуществлено за счет использования в качестве лигатуры атомов галлия.…”