Особенности Трансформации Микрорельефа Структур "Кремний На Изоляторе" При Воздействии Фотонных И Корпускулярных Излучений

Abstract

Приведены результаты исследований параметров микрорельефа и электрофизических характеристик структур "кремний на изоляторе" после воздействия гамма- и гамма-нейтронного излучения. Экспериментальные исследования проведены методами атомно-силовой микроскопии и псевдо-МДП транзистора. На основе полученных данных проведена оценка эффективного радиуса ядер кластеров радиационных дефектов. Ключевые слова: Атомно-силовая микроскопия, кремний на изоляторе, "допороговое" дефектообразование, кластеры радиационных дефектов.