Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg-=SUB=-1-x-=/SUB=-Cd-=SUB=-x-=/SUB=-Te и определение состава соединения

Abstract

A parametric model describing the spectra of the optical constants Hg1-xCdxTe n( lam) and k(lam) for x values in the range from 0.2 to 0.4 is presented. The Model is based on empirical data measured in situ during epitaxial growth of the compound layers. Variants of using the obtained model for determining the composition of MCT in situ in real time are considered. A method for determining the composition based on spectral ellipsometric measurements is proposed, which provides an accuracy no worse than (del)x=±0.0035.

ГЛАВА 3. ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ТЕМПЕРАТУРЫ В ПРОЦЕССАХ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ HgCdTe

“…Функция чувствительности  к составу  х =(d(,x))/dx рассчитывалась с помощью полученной ранее параметрической модели оптических постоянных КРТ для температуры роста [22]. Гораздо сложнее оказалось найти функцию чувствительности к температуре из-за протекания поверхностных процессов после прекращения роста [12,13].…”