Поверхностные Поляритоны В Пленках Нитридов Алюминия И Галлия, Легированных Кремнием

Abstract

Поступила в редакцию 25.02.2018 г. В окончательной редакции 25.02.2018 г. Принята к публикации 15.03.2019 г. Измерены спектры отражения и спектры нарушенного полного внутреннего отражения сильно легированных кремнием пленок нитридов алюминия и галлия на сапфировых подложках с буферным слоем нитрида алюминия. В спектрах нарушенного полного внутреннего отражения наблюдались поверхностные фононные и плазмон-фононные поляритоны. Экспериментально наблюдалась высокая концентрация носителей в пленке нитрида галлия и их практическое отсутствие в пленке нитрида алюминия.Ключевые слова: нитриды алюминия и галлия, спектры отражения, поверхностные поляритоны