Повышение Точности Аппроксимации Профиля Зоны Эрозии Планарных Магнетронов

Abstract

Показано, что использование смещенной по оси ординат функции выживания распределения Вейбулла позволяет повысить точность аппроксимации нормированного профиля зоны эрозии в области от оси до максимума распыления по сравнению с предложенной ранее функцией распределения экстремальных значений. В области от максимума до внешней границы зоны эрозии используется функция выживания распределения Вейбулла. Наибольшее преимущество использования новой аппроксимации проявляется для магнетронов с большим центральным нераспыляемым пятном и для магнетронов со значительным распылением в приосевой зоне.

Влияние Облучения Низкоэнергетическими Ионами Гелия На Спектральный Коэффициент Отражения Монокристаллических Молибденовых Зеркал

“…[3], и химического взаимодействия с агрессивной средой (водяной пар, кислород и др.). С учетом возможности загрязнения в состав всех систем оптической диагностики установки ИТЭР должна входить встроенная система плазменной очистки отражающей поверхности входного зеркала на основе низкоэнергетического ионного распыления в газовом разряде [4,5]. В качестве конструкционного материала для изготовления входных зеркал нескольких диагностических систем предполагается использовать монокристаллический Mo [6,7].…”