СИНТЕЗ И ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ Nb2O5-MoN-AlN ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Abstract

В работе представлены результаты оценки прочностных свойств многослойных тонкопленочных покрытий на основе соединений Nb2O5-MoN-AlN, полученных методом магнетронного напыления на поверхности стали марки 316 L. Выбор компонент для покрытий обусловлен возможностью повышения устойчивости к внешним воздействиям за счет высоких показателей прочностных характеристик данных покрытий, а также их структурных особенностей. С применением метода рентгенофазового анализа было установлено, что вариация количества слоев и компонент приводит к формированию аморфных покрытий. В качестве методов для определения прочностных характеристик были применены методы индентирования и определения коэффициента сухого трения. В случае нанесения двухкомпонентных многослойных покрытий, установлено, что твердость увеличивается на 10–20 %, а в случае трехкомпонентных покрытий увеличение твердости составило более чем 50 %. При испытаниях на износостойкость полученных покрытий было установлено, что нанесение на сталь марки 316 L двух-трехкомпонентных покрытий приводит к увеличению устойчивости к износу стали более чем в 7–10 раз, при этом профиль износа значительно меньше за счет высокой устойчивости покрытий к износу. Ключевые слова: магнетронное напыление, многослойные тонкопленочные покрытия, нитрид алюминия, твердость, упрочнение.