Фазовый Состав Тонких Пленок Оксида Олова, Газочувствительных При Температуре, Близкой К Комнатной

Abstract

Исследован фазовый состав тонких поликристаллических пленок оксида олова на кремниевых подложках, полученных методом реактивного высокоча-стотного магнетронного распыления и обладающих чувствительностью к парам этанола при 38• C. Было установлено, что они состоят из кристаллов SnO 2 со средним размером порядка 7 nm, покрытых нанометровым слоем аморфной фазы SnO. Также было установлено, что объемное содержание первой фазы составляет порядка 95%, а второй фазы -5%. Проведенный расчет текстуры показал, что имеется преимущественный рост кристаллов SnO 2 вдоль кристал-лографических направлений 110 , 211 и 310 перпендикулярно подложке.